| 发明名称 |
VERFAHREN ZUR MESSUNG DES ELEKTRISCHEN WIDERSTANDES VON UNTER DEM EINFLUSS EINES PLASMAS HERGESTELLTEN, DUENNEN, METALLISCHEN SCHICHTEN WAEHREND IHRER HERSTELLUNG |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE3340719(A1) |
申请公布日期 |
1985.05.23 |
| 申请号 |
DE19833340719 |
申请日期 |
1983.11.10 |
| 申请人 |
SIEMENS AG |
发明人 |
HIEBER,KONRAD,DR.RER.NAT.;MAYER,NORBERT,DR.RER.NAT. |
| 分类号 |
C23C14/34;C23C14/54;G01B7/06;G01N27/04;G01R27/02;H01C17/12;(IPC1-7):C23C11/02 |
主分类号 |
C23C14/34 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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