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发明名称 VERSCHLUSSVORRICHTUNG
摘要
申请公布号 DE3441298(A1) 申请公布日期 1985.05.23
申请号 DE19843441298 申请日期 1984.11.12
申请人 CANON K.K. 发明人 YAMAMURA,MITSUGU;YOMODA,MINORU
分类号 G03F7/20;H01L21/027;H01L21/30;(IPC1-7):G03F7/20;G03B27/52;H01L21/68;H01L21/308 主分类号 G03F7/20
代理机构 代理人
主权项
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