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发明名称 DIGITAL MEASUREMENT SENSOR, ITS USE AND METHOD OF MANUFACTURE
摘要
申请公布号 EP0069392(A3) 申请公布日期 1985.05.22
申请号 EP19820106035 申请日期 1982.07.06
申请人 SIEMENS AKTIENGESELLSCHAFT 发明人 BOEHNER, MICHAEL, DIPL.-ING.;METZDORF, WERNER, DIPL.-PHYS.
分类号 G01D5/18;G01D5/14;G01D5/16;G01D5/245;(IPC1-7):G01D5/16 主分类号 G01D5/18
代理机构 代理人
主权项
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