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经营范围
发明名称
LIQUID METAL ION SOURCE
摘要
申请公布号
EP0091777(A3)
申请公布日期
1985.05.22
申请号
EP19830301924
申请日期
1983.04.06
申请人
HITACHI, LTD.
发明人
ISHITANI, TOHRU;TAMURA, HIFUMI;SHIMASE, AKIRA
分类号
H01J37/08;H01J3/04;H01J27/26;(IPC1-7):H01J27/22
主分类号
H01J37/08
代理机构
代理人
主权项
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