发明名称 LIQUID METAL ION SOURCE
摘要
申请公布号 EP0091777(A3) 申请公布日期 1985.05.22
申请号 EP19830301924 申请日期 1983.04.06
申请人 HITACHI, LTD. 发明人 ISHITANI, TOHRU;TAMURA, HIFUMI;SHIMASE, AKIRA
分类号 H01J37/08;H01J3/04;H01J27/26;(IPC1-7):H01J27/22 主分类号 H01J37/08
代理机构 代理人
主权项
地址
您可能感兴趣的专利