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发明名称
PHYSICAL VAPOR DEPOSITION APPARATUS
摘要
申请公布号
GB2148049(A)
申请公布日期
1985.05.22
申请号
GB19840010294
申请日期
1984.04.19
申请人
* MULTI-ARC VACUUM SYSTEMS INC
发明人
CLARK * BERGMAN;GARY E * VERGASON;MICHAEL F * REED;WILLIAM * ALLEN
分类号
C23C14/24;C23C14/32;H01J37/32;(IPC1-7):F16J15/10
主分类号
C23C14/24
代理机构
代理人
主权项
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