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发明名称 SEMICONDUCTOR WAFER CARRIER DEVICE
摘要
申请公布号 JPS6070738(U) 申请公布日期 1985.05.18
申请号 JP19830163317U 申请日期 1983.10.24
申请人 发明人
分类号 F02D1/02;F02D1/04;F02D1/12;F02M41/12;F02M59/44;(IPC1-7):F02D1/04 主分类号 F02D1/02
代理机构 代理人
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