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发明名称 DRY ETCHING PROCESS USING PLASMA
摘要
申请公布号 IE48784(B1) 申请公布日期 1985.05.15
申请号 IE19790001449 申请日期 1979.08.08
申请人 WESTERN ELECTRIC COMPANY, INCORPORATED 发明人
分类号 H01L21/302;C23F4/00;H01L21/3065;(IPC1-7):C23F1/00 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
主权项
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