| 摘要 |
<p>Ziel der Erfindung ist es, ein Fertigungsverfahren zu entwickeln, das es ermöglicht, einfacher als bisher Röntgenmasken mit einer Trägerplatte aus Metall zu erzeugen. Dazu wird eine Trägerplatte aus Kupfer, die den späteren Rahmen ergibt, mit einer Nickelschicht überzogen, auf der zum Beispiel eine Titanschicht aufgebracht wird. Nach dem Aufkleben einer PMMA-Folie auf der Titanschicht erfolgt die Strukturierung der PMMA-Schicht mit Hilfe der Röntgenlithografie und anschließend das Galvanisieren im Goldbad. Abschließend wird von der Rückseite der Trägerplatte durch zwei Ätzprozesse die Titanfolie freigelegt.</p> |
