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发明名称 VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG AMORPHER SILIZIUMFILME.
摘要
申请公布号 AT13202(T) 申请公布日期 1985.05.15
申请号 AT19810305111T 申请日期 1981.10.28
申请人 KANEGAFUCHI KAGAKU KOGYO KABUSHIKI KAISHA 发明人 HAMAKAWA, YOSHIHIRO;TAWADA, YOSHIHISA
分类号 C01B33/02;C23C14/00;C23C16/24;H01L27/14;(IPC1-7):C23C16/24 主分类号 C01B33/02
代理机构 代理人
主权项
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