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发明名称
METHOD OF GROWING SILICON CRYSTALS BY THE CZOCHRALSKI METHOD
摘要
申请公布号
EP0098471(A3)
申请公布日期
1985.05.15
申请号
EP19830106146
申请日期
1983.06.23
申请人
INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORPORATION
发明人
GHOSH, HITENDRA;MURGAI, ASHOK;WESTDORP, WOLFGANG ALFRED
分类号
C30B15/00;C30B15/04;C30B15/14;C30B15/20;C30B15/22;C30B15/30;C30B29/06;H01L21/208;(IPC1-7):C30B15/14
主分类号
C30B15/00
代理机构
代理人
主权项
地址
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