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发明名称 LIQUID METAL ION SOURCE
摘要
申请公布号 EP0114496(A3) 申请公布日期 1985.05.15
申请号 EP19830307759 申请日期 1983.12.20
申请人 HITACHI, LTD. 发明人 ISHITANI, TOHRU;TAMURA, HIFUMI;UMEMURA, KAORU
分类号 H01J37/08;H01J3/04;H01J27/26;(IPC1-7):H01J27/26 主分类号 H01J37/08
代理机构 代理人
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