| 发明名称 |
VERFAHREN ZUM VERRINGERN DER DICKE VON SILIZIUMSCHEIBEN DURCH CHEMISCHES AETZEN |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
AT377868(B) |
申请公布日期 |
1985.05.10 |
| 申请号 |
AT19770006620 |
申请日期 |
1977.09.14 |
| 申请人 |
MIKROELEKTRONIKAI VALLALAT |
发明人 |
HUSZKA ZOLTAN;NENYEI ZSOLT DR. |
| 分类号 |
C09K3/10;C23F3/04;H01L21/302;(IPC1-7):H01L21/302 |
主分类号 |
C09K3/10 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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