| 发明名称 |
CHUCK ASSEMBLY AND MASK HOLDER FOR AN IMPROVED MASK ALIGNMENT MACHINE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
US3521955(A) |
申请公布日期 |
1970.07.28 |
| 申请号 |
USD3521955 |
申请日期 |
1968.03.13 |
| 申请人 |
KULICKE & SOFFA IND. INC. |
发明人 |
HENRY J. TANCREDI |
| 分类号 |
G03F7/20;H01L21/68;(IPC1-7):G03B27/04 |
主分类号 |
G03F7/20 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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