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发明名称 HALTERUNG ZUM STUETZEN EINES WERKSTUECKS
摘要
申请公布号 DE3438980(A1) 申请公布日期 1985.05.09
申请号 DE19843438980 申请日期 1984.10.24
申请人 VARIAN ASSOCIATES,INC. 发明人 NEUKERMANS,ARMAND;J. SIDDALL,GRAHAM;W. FRANKLIN,JOSEPH
分类号 B23Q3/08;G03F7/20;H01L21/67;H01L21/68;H01L21/683;(IPC1-7):B23Q3/08;B24B41/06 主分类号 B23Q3/08
代理机构 代理人
主权项
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