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发明名称 VERFAHREN ZUM NIEDERSCHLAGEN VON METALLSILIZIDSCHICHTEN AUF EIN SUBSTRAT
摘要
申请公布号 DE3439853(A1) 申请公布日期 1985.05.09
申请号 DE19843439853 申请日期 1984.10.31
申请人 ADVANCED SEMICONDUCTOR MATERIALS AMERICA,INC. 发明人 S. ROSLER,RICHARD;M. ENGLE,GEORGE
分类号 C23C16/02;C23C16/42;C23C16/50;H01L21/205;H01L21/28;H01L21/285;(IPC1-7):C23C11/08 主分类号 C23C16/02
代理机构 代理人
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