发明名称 |
OPTISCHES REFLEKTIONSSYSTEM |
摘要 |
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申请公布号 |
DE3439297(A1) |
申请公布日期 |
1985.05.09 |
申请号 |
DE19843439297 |
申请日期 |
1984.10.26 |
申请人 |
CANON K.K. |
发明人 |
HIROSE,RYUSHO;SUZUKI,AKIYOSHI |
分类号 |
G02B13/18;G02B17/00;G02B17/08;G03F7/20;(IPC1-7):G02B17/08;H01L21/68 |
主分类号 |
G02B13/18 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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