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发明名称 CATHODIC SPUTTERING
摘要
申请公布号 GB8508897(D0) 申请公布日期 1985.05.09
申请号 GB19850008897 申请日期 1985.04.04
申请人 BALZERS AG 发明人
分类号 C23C14/36;C23C14/34;C23C14/35;H01J37/34 主分类号 C23C14/36
代理机构 代理人
主权项
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