| 发明名称 |
EVAPORATORE A FASCIO ELETTRONICO E CONTENITORE PER L'ALLOGGIAMENTO DEL MATERIALE EVAPORABILE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
IT1079238(B) |
申请公布日期 |
1985.05.08 |
| 申请号 |
IT19770024211 |
申请日期 |
1977.05.31 |
| 申请人 |
LEYBOLD-HERAEUS GMBH & CO KG |
发明人 |
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| 分类号 |
H01J37/305;(IPC1-7):C23C/ |
主分类号 |
H01J37/305 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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