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发明名称
VORRICHTUNG ZUR INTENSIVSPUELUNG VON PLATTENFOERMIGEN MATERIALIEN DER HALBLEITERINDUSTRIE
摘要
申请公布号
DD221931(A1)
申请公布日期
1985.05.08
申请号
DD19830255822
申请日期
1983.10.20
申请人
VEB WERK FUER FERNSEHELEKTRONIK,DD
发明人
RAUSCH,BODO,DD;GIEGLING,EBERHARD,DD
分类号
B08B3/06;H01L21/00;(IPC1-7):B08B3/06
主分类号
B08B3/06
代理机构
代理人
主权项
地址
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