发明名称 VORRICHTUNG ZUR INTENSIVSPUELUNG VON PLATTENFOERMIGEN MATERIALIEN DER HALBLEITERINDUSTRIE
摘要
申请公布号 DD221931(A1) 申请公布日期 1985.05.08
申请号 DD19830255822 申请日期 1983.10.20
申请人 VEB WERK FUER FERNSEHELEKTRONIK,DD 发明人 RAUSCH,BODO,DD;GIEGLING,EBERHARD,DD
分类号 B08B3/06;H01L21/00;(IPC1-7):B08B3/06 主分类号 B08B3/06
代理机构 代理人
主权项
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