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发明名称
摘要
申请公布号 JPS6064561(U) 申请公布日期 1985.05.08
申请号 JP19830157084U 申请日期 1983.10.11
申请人 发明人
分类号 H01J37/32;C23C14/32;C23C14/34;C23C16/50;C23F1/08;C23F4/00;(IPC1-7):H01J37/32 主分类号 H01J37/32
代理机构 代理人
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