发明名称 METHOD OF PRODUCING SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPS6079716(A) 申请公布日期 1985.05.07
申请号 JP19840116746 申请日期 1984.06.08
申请人 INTERN BUSINESS MACHINES CORP 发明人 DENISU PATORITSUKU BOORUDEIN;DEERU POORU HAROTSUKU;SUTANREE ROBAATSU;JIEEMUZU GAADONAA RAIAN
分类号 H01L21/225;H01L21/28;H01L21/285;H01L21/321;H01L21/768;H01L29/43 主分类号 H01L21/225
代理机构 代理人
主权项
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