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发明名称
摘要
申请公布号 FR2527184(B1) 申请公布日期 1985.05.03
申请号 FR19830008324 申请日期 1983.05.19
申请人 AIRCO INC 发明人
分类号 B65G49/00;B01J3/02;B65G25/02;B65G49/07;C23C14/56;H01L21/677;(IPC1-7):B65G49/00 主分类号 B65G49/00
代理机构 代理人
主权项
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