发明名称 |
MEJORAS EN SISTEMA AUTOMATICO DE INSPECCION DE SUPERFICIES,PARTICULARMENTE DE PASTILLAS DE SILICIO PARA FABRICAR COMPONENTES ELECTRONICOS DE ESTADO SOLIDO |
摘要 |
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申请公布号 |
MX151906(A) |
申请公布日期 |
1985.05.02 |
申请号 |
MX19820192277 |
申请日期 |
1982.04.15 |
申请人 |
FORD AEROSPAC & COMMUNICATIONS CORPORATION |
发明人 |
W. JERRY ALFORD;CHARLES J. CUSHING;JAMES D. HUNT;MICHAEL L. SMITH;RICHARD D. VANDERNEST;JAMES L. WILKES |
分类号 |
H01L21/66;G01N21/88;G01N21/956;(IPC1-7):H01B1/04;H01L49/00 |
主分类号 |
H01L21/66 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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