发明名称 MEJORAS EN SISTEMA AUTOMATICO DE INSPECCION DE SUPERFICIES,PARTICULARMENTE DE PASTILLAS DE SILICIO PARA FABRICAR COMPONENTES ELECTRONICOS DE ESTADO SOLIDO
摘要
申请公布号 MX151906(A) 申请公布日期 1985.05.02
申请号 MX19820192277 申请日期 1982.04.15
申请人 FORD AEROSPAC & COMMUNICATIONS CORPORATION 发明人 W. JERRY ALFORD;CHARLES J. CUSHING;JAMES D. HUNT;MICHAEL L. SMITH;RICHARD D. VANDERNEST;JAMES L. WILKES
分类号 H01L21/66;G01N21/88;G01N21/956;(IPC1-7):H01B1/04;H01L49/00 主分类号 H01L21/66
代理机构 代理人
主权项
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