发明名称 |
CAPACITIEVE MASKER-UITLIJNINRICHTING. |
摘要 |
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申请公布号 |
NL8403128(A) |
申请公布日期 |
1985.05.01 |
申请号 |
NL19840003128 |
申请日期 |
1984.10.12 |
申请人 |
VARIAN ASSOCIATES INC. TE PALO ALTO, CALIFORNIE, VER. ST. V. AM. |
发明人 |
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分类号 |
G01B7/31;G01D5/241;G03F9/00;(IPC1-7):G03F9/00;G03B27/53;B65H9/00;H01L21/68 |
主分类号 |
G01B7/31 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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