发明名称 CAPACITIEVE MASKER-UITLIJNINRICHTING.
摘要
申请公布号 NL8403128(A) 申请公布日期 1985.05.01
申请号 NL19840003128 申请日期 1984.10.12
申请人 VARIAN ASSOCIATES INC. TE PALO ALTO, CALIFORNIE, VER. ST. V. AM. 发明人
分类号 G01B7/31;G01D5/241;G03F9/00;(IPC1-7):G03F9/00;G03B27/53;B65H9/00;H01L21/68 主分类号 G01B7/31
代理机构 代理人
主权项
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