| 发明名称 |
PRODUCTION OF HALOGENATED SILANE OR MONOSILANE HAVING LOW HALOGENATION DEGREE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS6077119(A) |
申请公布日期 |
1985.05.01 |
| 申请号 |
JP19830180610 |
申请日期 |
1983.09.30 |
| 申请人 |
TOKUYAMA SODA KK |
发明人 |
OZAKI YASUMICHI;HIRASHIMA TAKEYUKI |
| 分类号 |
C01B33/04;B01J31/00;B01J31/02;C01B33/107 |
主分类号 |
C01B33/04 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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