| 发明名称 |
REDUCTION OF REFLECTED LIGHT FROM MOLYBDENUM LAYER |
| 摘要 |
A layer of molybdenum nitride is formed on a layer of molybdenum prior to the deposition of a layer of photosensitive material thereon to reduce reflections from the layer of molybdenum into the layer of photosensitive material. |
| 申请公布号 |
JPS6076736(A) |
申请公布日期 |
1985.05.01 |
| 申请号 |
JP19840166624 |
申请日期 |
1984.08.10 |
| 申请人 |
GENERAL ELECTRIC CO |
发明人 |
MANJIN JIEROOMU KIMU;DEIRU MARIUSU BURAUN |
| 分类号 |
G03C1/00;G03F7/00;G03F7/075;G03F7/09;G03F7/11;H01L21/027;H01L21/318 |
主分类号 |
G03C1/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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