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发明名称
摘要
申请公布号
JPS6061725(U)
申请公布日期
1985.04.30
申请号
JP19830154252U
申请日期
1983.10.04
申请人
发明人
分类号
H01L21/52;H01L21/50;H01L21/58;(IPC1-7):H01L21/50
主分类号
H01L21/52
代理机构
代理人
主权项
地址
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