| 发明名称 |
Verfahren zum Gettern von metallischen Verunreinigungen aus Siliziumkristallen |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE1619972(A1) |
申请公布日期 |
1971.03.18 |
| 申请号 |
DE19671619972 |
申请日期 |
1967.05.02 |
| 申请人 |
LICENTIA PATENT-VERWALTUNGS-GMBH |
发明人 |
ARMBRUSTER,INGRID |
| 分类号 |
C01B33/037;C23C16/06;H01L21/00;H01L21/316;H01L21/322 |
主分类号 |
C01B33/037 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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