| 发明名称 |
METHOD OF DECIDING AZIMUTH OF (100)INP SUBSTRATE WAFER |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS6074630(A) |
申请公布日期 |
1985.04.26 |
| 申请号 |
JP19840185471 |
申请日期 |
1984.09.06 |
| 申请人 |
AMERIKAN TEREFUON ANDO TEREGURAFU CO |
发明人 |
RARII AREN KOORUDOREN;ROORENSU UOOREN SUTARUTSU |
| 分类号 |
H01L21/306;H01L21/66;H01L29/06;H01S5/00 |
主分类号 |
H01L21/306 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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