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发明名称 METHOD OF FORMING PATTERN OF INTEGRATED CIRCUIT BY PHOTOETCHING
摘要
申请公布号 JPS6074529(A) 申请公布日期 1985.04.26
申请号 JP19840155633 申请日期 1984.07.27
申请人 GENERAL ELECTRIC CO 发明人 BURUUSU FUREDERITSUKU GURIFUINGU
分类号 G03F7/09;H01L21/027 主分类号 G03F7/09
代理机构 代理人
主权项
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