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申请公布号 DE2922791(C2) 申请公布日期 1985.04.25
申请号 DE19792922791 申请日期 1979.06.05
申请人 HITACHI, LTD., TOKIO/TOKYO, JP 发明人 IIDA, SHINYA, TAMA, TOKIO/TOKYO, JP;UEKI, KAZUYOSHI, OHME, TOKIO/TOKYO, JP;KOMATSU, HIDEO, TOKIO/TOKYO, JP;MIZUTANI, TATSUMI, KOKUBUNJI, TOKIO/TOKYO, JP
分类号 C09K13/10;C23F4/00;H01L21/02;H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/3213;(IPC1-7):C23C15/00 主分类号 C09K13/10
代理机构 代理人
主权项
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