| 发明名称 |
METHOD OF TESTING SEMICONDUCTOR APPARATUS |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS6073375(A) |
申请公布日期 |
1985.04.25 |
| 申请号 |
JP19830180838 |
申请日期 |
1983.09.30 |
| 申请人 |
OKI DENKI KOGYO KK |
发明人 |
FUKUDA YASUHIRO;SUGANUMA IKUO |
| 分类号 |
G01R31/12;G01R31/26;G01R31/3161;H01L21/66 |
主分类号 |
G01R31/12 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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