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发明名称
摘要
申请公布号 DE3100979(C2) 申请公布日期 1985.04.25
申请号 DE19813100979 申请日期 1981.01.15
申请人 TOKYO SHIBAURA DENKI K.K., KAWASAKI, KANAGAWA, JP 发明人 TANI, KEIZO, YOKOHAMA, JP;HIDESHIMA, MAKOTO, KAWASAKI, JP
分类号 H01L21/316;H01L21/331;H01L29/06;H01L29/73;(IPC1-7):H01L29/06;H01L21/56;H01L29/72 主分类号 H01L21/316
代理机构 代理人
主权项
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