INTEGRATED CAPACITIVE TRANSDUCER.

摘要

Transducteur électro-acoustique, tel qu'un microphone, pouvant être intégré dans une puce à semiconducteur et son procédé de fabrication. Le semiconducteur (10) est gravé pour produire une membrane (11) possédant une épaisseur suffisamment réduite et une surface lui permettant de vibrer aux fréquences audio. Des électrodes (12, 17) sont disposées en relation à la membrane de manière à pouvoir obtenir un signal électrique de sortie à partir des fréquences audio, ou vice-versa, grâce à la capacitance variable. De préférence, on s'arrange pour que la sensibilité du dispositif soit approximativement une fonction linéaire du niveau de pression sonore, pour être compatible avec l'amplification.