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发明名称 VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG VERUNREINIGUNGSARMER DIFFUSIONSSTRUKTUREN IM HALBLEITERMATERIAL
摘要
申请公布号 DD221595(A1) 申请公布日期 1985.04.24
申请号 DD19840259124 申请日期 1984.01.02
申请人 VEB GLEICHRICHTERWERK STAHNSDORF,DD 发明人 TUNNAT,KLAUS,DD;BAUMANN,KURT,DD
分类号 H01L21/225;(IPC1-7):H01L21/225 主分类号 H01L21/225
代理机构 代理人
主权项
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