发明名称 DONOR SOLUTION FOR OBTAINING SURFACE SOURCE OF DIFFUSION
摘要
申请公布号 SU1040975(A1) 申请公布日期 1985.04.23
申请号 SU19823375460 申请日期 1982.01.04
申请人 V ELEKTROTEKHNICHESKIJ I IM.V.I.LENINA 发明人 LOKTAEV YU.M.,SU;NISNEVICH YA.D.,SU;PAJVEL V.M.,SU;SHCHITSEL M.L.,SU
分类号 H01L21/225;(IPC1-7):H01L21/225 主分类号 H01L21/225
代理机构 代理人
主权项
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