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发明名称
DONOR SOLUTION FOR OBTAINING SURFACE SOURCE OF DIFFUSION
摘要
申请公布号
SU1040975(A1)
申请公布日期
1985.04.23
申请号
SU19823375460
申请日期
1982.01.04
申请人
V ELEKTROTEKHNICHESKIJ I IM.V.I.LENINA
发明人
LOKTAEV YU.M.,SU;NISNEVICH YA.D.,SU;PAJVEL V.M.,SU;SHCHITSEL M.L.,SU
分类号
H01L21/225;(IPC1-7):H01L21/225
主分类号
H01L21/225
代理机构
代理人
主权项
地址
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