发明名称 ION SOURCE DEVICE
摘要
申请公布号 JPS6070699(A) 申请公布日期 1985.04.22
申请号 JP19830176934 申请日期 1983.09.27
申请人 TOSHIBA KK 发明人 ITOU YASUYUKI;SUGAWARA TOORU
分类号 H01J37/08;G21K1/00;H01J3/04;H01J27/04;H05H7/08 主分类号 H01J37/08
代理机构 代理人
主权项
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