发明名称 |
PROCEDIMENTO E DISPOSITIVO PER L'ESERCIZIO DI UNA POMPA AD EVAPORAZIONE DI TITANIO |
摘要 |
|
申请公布号 |
IT1075879(B) |
申请公布日期 |
1985.04.22 |
申请号 |
IT19760028923 |
申请日期 |
1976.10.29 |
申请人 |
LEYBOLD-HERAEUS GMBH & CO KG |
发明人 |
|
分类号 |
F04B37/02;F04B37/06;(IPC1-7):H01J/ |
主分类号 |
F04B37/02 |
代理机构 |
|
代理人 |
|
主权项 |
|
地址 |
|