发明名称 PROCEDIMENTO E DISPOSITIVO PER L'ESERCIZIO DI UNA POMPA AD EVAPORAZIONE DI TITANIO
摘要
申请公布号 IT1075879(B) 申请公布日期 1985.04.22
申请号 IT19760028923 申请日期 1976.10.29
申请人 LEYBOLD-HERAEUS GMBH & CO KG 发明人
分类号 F04B37/02;F04B37/06;(IPC1-7):H01J/ 主分类号 F04B37/02
代理机构 代理人
主权项
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