发明名称 SURFACE INSPECTION SCANNING SYSTEM
摘要
申请公布号 AU543465(B2) 申请公布日期 1985.04.18
申请号 AU19810077682 申请日期 1981.11.20
申请人 FORD AEROSPACE + DOMMUNICATIONS CORP. 发明人 W. JERRY ALFORD;CHARLES J. CUSHING;JAMES D. HUNT;MICHAEL L. SMITH;RICHARD D. VANDERNEUT;JAMES L. WILKES
分类号 H01L21/66;G01N21/88;G01N21/956;(IPC1-7):G01N21/88 主分类号 H01L21/66
代理机构 代理人
主权项
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