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发明名称 VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG VON CR-SI-DUENNFILMWIDERSTAENDEN
摘要
申请公布号 DD221298(A1) 申请公布日期 1985.04.17
申请号 DD19830254371 申请日期 1983.08.31
申请人 FI MANFRED VON ARDENNE,DD 发明人 PAGEL,LIENHARD,DD;KRUEGER,DIETMAR,DD;KERN,MANFRED,DD;HEISIG,ULLRICH,DD;STEINFELDER,KARL,DD;KORNDOERFER,CHRISTIAN,DD
分类号 H01C7/06;H01C17/12;H01L49/00;(IPC1-7):H01C17/12 主分类号 H01C7/06
代理机构 代理人
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