| 发明名称 |
ETCHING METHOD OF SEMICONDUCTOR |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS6066823(A) |
申请公布日期 |
1985.04.17 |
| 申请号 |
JP19830175686 |
申请日期 |
1983.09.22 |
| 申请人 |
HANDOUTAI ENERUGII KENKYUSHO:KK |
发明人 |
YAMAZAKI SHIYUNPEI;HAMAYA TOSHIJI |
| 分类号 |
H01L21/302;H01L21/04;H01L21/3065;H01L21/308;(IPC1-7):H01L21/302 |
主分类号 |
H01L21/302 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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