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发明名称 SISTEMA PER IL TRASPORTO IN MODO CONTROLLATO DI PEZZI QUALI WAFER SEMICONDUTTORI
摘要
申请公布号 IT1074075(B) 申请公布日期 1985.04.17
申请号 IT19760026821 申请日期 1976.09.03
申请人 IBM CORP 发明人
分类号 B65G47/68;B65G49/07;B65G51/03;B65H29/24;H01L21/677;(IPC1-7):B65G/ 主分类号 B65G47/68
代理机构 代理人
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