| 发明名称 |
PLAATSELIJKE VACUUM-BEHANDELINGSINRICHTING. |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
NL8402861(A) |
申请公布日期 |
1985.04.16 |
| 申请号 |
NL19840002861 |
申请日期 |
1984.09.18 |
| 申请人 |
VARIAN ASSOCIATES INC. TE PALO ALTO, CALIFORNIE, VER. ST. V. AM. |
发明人 |
|
| 分类号 |
B01J3/00;H01J37/18;H01J37/317;H01L21/027;(IPC1-7):C23C14/56;H01J37/20;B01J3/03;B01J19/12 |
主分类号 |
B01J3/00 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
