| 发明名称 |
DEVICE FOR MEASURING PROFILE OF IMPURITY CONCENTRATION IN SEMICONDUCTORS |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
SU1150589(A1) |
申请公布日期 |
1985.04.15 |
| 申请号 |
SU19833568272 |
申请日期 |
1983.03.25 |
| 申请人 |
NOVOSIBIRSKIJ G UNIV IM.LENINSKOGO KOMSOMOLA |
发明人 |
USIK VIKTOR I,SU |
| 分类号 |
H01L21/66;G01R31/26;(IPC1-7):G01R31/26 |
主分类号 |
H01L21/66 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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