发明名称 METHOD FOR MANUFACTURING SEMI- CONDUCTOR INSTRUMENT WITH FIELD EFFECT
摘要
申请公布号 BG37205(A1) 申请公布日期 1985.04.15
申请号 BG19810052590 申请日期 1981.06.23
申请人 PROEKTNO- TEKHNOLOGICHESKIJJ I NAUCHNO- ISSLEDOVATELSKIJJ INSTITUT NAUCHNO- PROIZVODSTVENNOGO OBEDINENIJA <EHLEKTRONPRIBOR> 发明人 PETROVA,VALENTINA Z.;KANDYBA,PETR E.;PANOVA,ZOJA V.
分类号 H01L21/18;(IPC1-7):H01L21/18 主分类号 H01L21/18
代理机构 代理人
主权项
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