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发明名称 METHOD OF FORMING PATTERN OF INTERLAYER INSULATING FILM
摘要
申请公布号 JPS6065593(A) 申请公布日期 1985.04.15
申请号 JP19830172972 申请日期 1983.09.21
申请人 HITACHI SEISAKUSHO KK 发明人 OOTANI TOSHIO
分类号 H05K3/46;B41J2/335;B41J2/345;H01L21/31;H05K3/06 主分类号 H05K3/46
代理机构 代理人
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