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发明名称
摘要
申请公布号
JPS6053037(U)
申请公布日期
1985.04.13
申请号
JP19830146115U
申请日期
1983.09.20
申请人
发明人
分类号
G01L9/04;G01L9/00;H01L29/84;(IPC1-7):G01L9/04
主分类号
G01L9/04
代理机构
代理人
主权项
地址
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