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发明名称 APPARECCHIATURA PER MANTENERE UN WAFER SEMICONDUTTORE IN UNA POSIZIONE PREDETERMINATA PER IL TAGLIO DEI VARI CHIP
摘要
申请公布号 IT1072851(B) 申请公布日期 1985.04.13
申请号 IT19760028843 申请日期 1976.10.29
申请人 IBM CORP 发明人
分类号 B28D5/04;B25B11/00;B28D5/00;H01L21/301;H01L21/683;(IPC1-7):H01L/ 主分类号 B28D5/04
代理机构 代理人
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