| 发明名称 |
METHOD OF ETCHING REFRACTORY METAL FILM ON SEMICONDUCTOR STRUCTURE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS6064431(A) |
申请公布日期 |
1985.04.13 |
| 申请号 |
JP19840119237 |
申请日期 |
1984.06.12 |
| 申请人 |
FAIRCHILD CAMERA & INSTRUMENT CORP |
发明人 |
KENESU JIEI RADEIGAN;JIEEMUZU EMU KURIIBUSU |
| 分类号 |
C23F1/10;C23F1/20;C23F1/38;H01L21/027;H01L21/28;H01L21/308;H01L21/3213 |
主分类号 |
C23F1/10 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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