发明名称 PROCESS FOR THE VAPOR DEPOSITION OF METALS
摘要
申请公布号 US3617359(A) 申请公布日期 1971.11.02
申请号 USD3617359 申请日期 1969.01.13
申请人 TEXAS INSTRUMENTS INC. 发明人 GENE F. WAKEFIELD
分类号 C23C16/08;(IPC1-7):C23C11/02 主分类号 C23C16/08
代理机构 代理人
主权项
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